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- 芯片制造行業(yè)中的臭氧用途
芯片制造行業(yè)中的臭氧用途 二十多年來,半導(dǎo)體行業(yè)研究人員已經(jīng)研究了將臭氧用于晶片清潔和抗蝕劑剝離應(yīng)用的情況。為了降低化學(xué)藥品的消耗和處置成本以及提高清潔效率,使用臭 . . .
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